高纯气体的检测方法有哪些？-天星为你介绍
高纯气体中微量氧的分析，除采用气相色谱法检测外，常常采用在线的**微氧分析仪，对高纯气体中的微氧杂质进行连续的监测，此种微氧分析仪一般安装在高纯气体制取设备或纯化设备出口，用以监测获得的高纯气体中的微氧含量是否符合规定的要求；另外也常常安装在高纯气体的输送管路的始、末端，用以监测高纯气体输送过程的污染状况，以确保用气设备处的微氧含量符合规定的要求。
现常用的微量氧分析方法。目前在10一9级微氧检测中采用DF系列微氧分析仪，铂系列氧分析仪是目前先进的微氧分析仪，它采用一个非消耗型电化学传感器，类似于库伦计的过程，在电化学池内氧量被降低了，铂系列测氧时对传感器的任何部分都没有化学变化和分解。它不同于可更换的电池型传感器那样使用一个可消耗的阳极oDF-560型微氧分析仪的微氧检测范围是0～2×10_9，可对N2、He、H2、Ar等气体中的微量氧进行在线检测，图6-45是DF型微氧分析仪外形。
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