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2025-07
星期 三
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无锡卧式炉真空合金炉 赛瑞达智能电子装备供应
扩散工艺同样离不开卧式炉。在800-1100°C的高温下,掺杂原子,如硼、磷等,从气态源或固态源扩散进入硅晶格。这一过程对于形成晶体管的源/漏区、阱区以及调整电阻至关重要。尽管因横向扩散问题,扩散工艺在某些方面逐渐被离子注入替代,
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2025-07
星期 三
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无锡6吋卧式炉 赛瑞达智能电子装备供应
对于一些对炉内气氛要求极高的工艺,卧式炉采用了先进的炉内气氛精确控制技术。通过安装高精度的气体流量控制器和传感器,实时监测和调节炉内的气体成分和浓度。例如,在某些金属材料的热处理过程中,需要精确控制炉内的氢气、氮气等气体的比例,以
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2025-07
星期 三
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无锡第三代半导体管式炉PSG/BPSG工艺 赛瑞达智能电子装备供应
随着半导体制造向7nm、5nm甚至更先进制程迈进,对管式炉提出了前所未有的挑战与更高要求。在氧化扩散、薄膜沉积等关键工艺中,需实现纳米级精度控制,这意味着管式炉要具备更精确的温度控制能力、更稳定的气氛调节系统以及更高的工艺重复性,
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2025-07
星期 三
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无锡第三代半导体管式炉一般多少钱 赛瑞达智能电子装备供应
在半导体制造进程中,薄膜沉积是一项极为重要的工艺,而管式炉在其中发挥着关键的精确操控作用。通过化学气相沉积(CVD)等技术,管式炉能够在半导体硅片表面精确地沉积多种具有特定功能的薄膜材料。以氮化硅(SiN)薄膜和二氧化硅(SiO2
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2025-07
星期 三
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无锡立式炉参考价 赛瑞达智能电子装备供应
晶圆键合是3D集成芯片制造的关键工艺,立式炉通过高温退火预处理提升键合界面的结合强度。在硅-硅键合前,立式炉以分步退火工艺(低温脱水→中温活化→高温键合)消除晶圆表面的羟基与杂质,使键合界面形成共价键连接。实验数据表明,经立式炉预